- PTCXPUMP 風囊泵浦 (Bellows Pump) 又常被業界稱為波紋管泵浦、風箱泵、PTFE泵浦、鐵氟龍風囊泵或氣動式風囊泵。
- 以氣動雙風囊為技術核心，採用壓縮空氣驅動，透過左右風囊交替往復運動，確保輸送過程連續、穩定且脈衝最小化。
- 這款泵浦完全符合半導體材料與設備的 SEMI F57 規範標準，展現頂級的潔淨度表現。
- 其整體製程於 Class 1000 無塵車間內進行精密製造，接液部件全面採用 PTFE/PFA 等高純度氟材料，不僅擁有卓越的耐化學腐蝕特性，更能將金屬離子與顆粒等污染物的析出量降至最低，確保製程流體免受二次污染
- 外部則以高強度的鋁合金泵殼搭配多層材料塗覆技術，進一步強化防腐蝕結構。
- 搭配純氣動防爆驅動，無需外接電力可達到本質安全，適用於石油、化學工業、製藥等防爆要求嚴格的危險區域。
- 提供 BL-15、BL-30、BL-55 及 BL-100 等多款規格型號，以滿足多元的製程需求。
- 產品特點
- 適用產業
- 產品應用
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極致潔淨度( S EMI F 5 7標準)： 具備極致的潔淨度表現，完全符合半導體材料與設備的 SEMI F57 規範標準。
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C l a s s 1 0 0 0 無塵室精密製造： 於 Class 1000 無塵車間生產製造。
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超高純度與耐腐蝕特型： 泵體與液體接觸的部分全部由超純氟材料製作，具備優異的耐化學腐蝕特性，且金屬離子與顆粒等污染物的析出量少。
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高強度防腐蝕外殼： 泵殼採用鋁合金材質以增強結構強度，並採用多層材料塗覆技術，進一步強化整體的防腐蝕能力。
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雙風囊結構設計： 左右風囊交替吸排液，確保輸送過程的連續性、穩定性與脈衝的最小化。
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純氣動防爆驅動： 無需外接電力，本質安全，適用於石油、化學工業、製藥等對防爆要求極高的危險區域。
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全氟材質無金屬污染： 接液部件採用 PTFE/PFA 材質，確保高純度流體不受二次污染。
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多款規格選擇： 提供 BL-15、BL-30、BL-55 及 BL-100 等多種型號。
面向高端製造與精密製程 推薦採用 PTCXPUMP 風囊泵浦 (Bellows Pump)
半導體產業 (晶圓清洗與濕製程)
在半導體製造的關鍵環節，如晶圓清洗與蝕刻，對化學藥液的純淨度要求達到微米級。PTCXPUMP 泵體與液體接觸的部分全部由超純氟材料製作，具備優異的耐化學腐蝕特性，且金屬離子與顆粒等污染物的析出量少，是提升晶片良率的首選。
光伏與新能源產業 (矽片製絨與清洗)
太陽能電池片生產過程中涉及大量酸鹼液體。PTCXPUMP 風囊泵浦具備極強的耐腐蝕性與高穩定性，能適應光伏產線 24/7 的連續作業需求，確保製絨與清洗製程的一致性。
電子及平板顯示產業 (高純化學品供應)
針對面板製程中對高純度藥液的精密控制要求，PTCXPUMP 風囊泵浦利用雙風囊技術實現低剪切力輸送，保護化學品物理特性，並透過氣動控制確保在高污染環境下的操作安全性。
化學與精密實驗室
在高端化學藥品分裝或實驗室連續流工藝中，PTCXPUMP 風囊泵提供極佳的流量穩定性。其純氣動防爆特性，讓實驗人員在處理易揮發或易燃化學品時，擁有的安全防護與精準數據回饋。
- 半導體濕製程 (Semiconductor Wet Processes)
- 顯影製程 (Developing Process)
- 顯影與蝕刻 (Developing and Etching)
- 電鍍製程 (Electroplating Process)
- 矽片清洗 (Silicon Wafer Cleaning)
- 製絨製程 (Texturing Process)
- 化學品分裝 (Chemical Bottling / Dispensing)
- 實驗室分析設備 (Laboratory Analytical Instruments)
- 醫藥與生物科技 (Medical and Biotechnology)
- 玻璃基板清洗 (Glass Substrate Cleaning)
- 剝離製程 (Stripping Process)
- 化學機械平坦化 (CMP Slurry Delivery)
- 光阻液輸送 (Photoresist Coating / Delivery)
- 蝕刻與剝離 (Etching and Stripping)
- 黑孔/金屬化製程 (Black Hole / Carbon Process)
- 化學與精細化工 (Chemical & Fine Chemical)
- 高純度藥液循環 (High-Purity Chemical Circulation)
- 強酸強鹼裝卸 (Acid and Alkali Transfer)
