產品特色
- PTCXPUMP 雙軸高壓泵浦 (High Pressure Pump) 又常被業內稱為 雙軸泵浦、雙出軸高壓泵浦、雙軸承高壓泵浦或雙螺桿高壓泵浦。
- 它是一種利用壓縮空氣作為動力來源，並透過兩組同步或交替運作的軸心（柱塞）來對液體進行加壓輸出的泵浦。能將低壓液體提升至極高壓力，並透過噴嘴進行霧化或精確計量噴灑。
- 雙軸心氣動高壓泵浦的核心在於其「雙重往復運動」機制。
- 無需插電，從根本上杜絕了電火花引發爆炸的風險，能安全驅動超純水或光阻液等化學液體。
- 產品達到無油漬殘留、低微粒子析出的高潔淨控制標準，且止回閥逆止構造採用高品質的氟素樹脂（PTFE）。
- 機體採用水平式配置，方便直接配管與安裝，降低接頭螺牙處的漏液風險。
- 系統具備雙重防禦機制，採用雙組密封設計，即便其中一組微幅磨損，備援機制也能即時接管運作。
- 雙軸心結構能有效分擔單一軸心的往復頻率，減緩密封圈磨損，進而延長平均維修間隔（MTBF）確保產線持續穩定運轉。
- 產品特點
- 適用產業
- 產品應用
- 最高吐出壓力 : 2400PSI (34倍); 3500PSI (50倍)
- 壓力輸出平穩，波動率低於 5%。
- 高潔淨標準：無油漬殘留，微粒子析出量低。
- 氣動式設計：採用氣體驅動加壓清潔液體（如：超純水、光阻液），具備優異的防爆安全性。
- 氣體驅動：無需插電，從根本上杜絕了電火花（電弧）引發爆炸的風險。
- 壓力輸出穩定：藉由內部氣壓分配閥驅動雙軸（軸心）交替運作，能有效抑制流體脈動，確保加壓過程中的流量穩定。
- 雙重防禦機制：採用雙組密封設計，即便其中一組出現微幅磨損，備援機制也能接管運作，確保產線持續運轉。
- 低維護成本：雙軸心結構能有效分擔單一軸心的往復頻率，減緩密封圈的磨損速度，進而延長平均維修間隔（MTBF）。
- 水平配置與簡易安裝：採水平式設置，方便安裝與直接配管，大幅降低接頭螺牙處的漏液風險。
- 止回閥逆止構造 (Check Valve Seal)：採用氟素樹脂 (PTFE)。
追求『高壓穩定輸出』與『高安全規範』的嚴苛環境設計 推薦採用 PTCXPUMP 雙軸高壓泵浦 (High Pressure Pump)
半導體前段製程 (Front-End Semiconductor Processes)
專為 Single Wafer（單晶圓） 與 黃光洗淨製程 設計，滿足晶圓表面對微粒子（Particle）污染的極致嚴苛要求。憑藉低於 5% 的平穩輸出壓力與高潔淨結構，能精準、穩定地輸送洗淨液，穩定去除矽片表面污染物，是提升微細圖形良率的核心關鍵。
蝕刻與後段封裝洗淨 (Etch & Advanced Packaging Clean)
在 Etch（蝕刻）洗淨 與 Bumping（凸版）製程中，展現優異的流體控制力。不論是應對高腐蝕性的蝕刻化學藥劑，或是 Bumping 濺射前所需的丙酮、異丙醇等強有機溶劑，雙軸備援機制都能在高強度超聲波與特殊洗淨環境下，確保不中斷的穩定加壓輸出。
精細化工與化學品供應 (Fine Chemicals & CDS)
氣動防爆安全性，此泵浦是高純度電子級化學品、強酸、強鹼等流體輸送與循環系統（CDS）的理想選擇。在完全無電火花風險的防爆區內，能安全、無污染地完成高危流體加壓，確保產線製程的絕對安全。
工業清洗與表面處理 (Industrial Cleaning & Surface Treatment)
針對高階工業、精密零件或光電面板的表面清洗需求，提供最高達 3500 PSI 的強勁高壓輸出。高潔淨控制（無油漬殘留、低微粒析出）結合長維護間隔（MTBF）的雙軸結構，能在高度自動化的連續清洗線中，高效剝離頑垢而不傷工件表面。
- 半導體與光電產業 (Semiconductor & Optoelectronics)
- 晶圓濕製程清洗 (Wafer Wet Cleaning)
- 單晶圓與黃光洗淨製程 (Single Wafer & Photo Clean)
- 剝離與蝕刻後清洗 (Stripping & Etching Clean)
- 先進封裝凸板製程清洗 (Advanced Packaging Bumping Clean)
- 特殊化學品與電子級供酸系統 (Fine Chemicals & CDS)
- 中央供酸系統輸送 (Chemical Delivery System Dispensing)
- 強腐蝕性流體加壓 (Pressurizing Corrosive Fluids)
- 廠務防爆區流體輸送 (Fluid Transfer in Explosion-Proof Zones)
- 能源與電力系統 (Energy & Power Systems)
- 氫能燃料電池加濕 (Fuel Cell Humidification)
- 連續化學反應投料 (Continuous Chemical Feeding)
- 鍋爐水處理系統 (Boiler Water Treatment)
- 工業清洗與表面處理 (Industrial Cleaning & Surface Treatment)
- 精密零件與光電面板去油污 (Precision Parts & Panel Degreasing)
- 電路板與高階設備高壓清洗 (PCB & Equipment High-Pressure Rinsing)
