磁浮無軸封泵浦是將磁懸浮技術應用於離心泵的新型產品，核心採用磁懸浮無軸承電機，實現轉子與定子的完全隔離。由於無需傳動軸、機械軸承與潤滑油，具備超潔淨、無污染、耐腐蝕及高精度流量控制等特性。
詢價- 產品特點
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- 產品應用
- 產品FAQ
無軸封、零接觸運轉
降低污染風險
耐腐蝕材質
流量平穩、無脈衝
低剪切設計
精準控制、易於自動化
低維護、長壽命
體積小、易整合
低噪音、低震動
高效散熱與節能
多種型號與售後支援
半導體產業
用於半導體濕製程（清洗、蝕刻、研磨 CMP、電鍍）與先進封裝（含覆晶）的化學液與研磨液輸送，零接觸、極少微粒。
化工產業
輸送強酸、強鹼等腐蝕性液體，採耐腐蝕材質，無軸封設計排除動密封洩漏風險。
化學品製造
適用於高純度、高密封性要求的化學品輸送，可用於超高純液體、混合液體與標準液體的生產。
醫藥生技業
適用於製藥與生物醫藥生產的液體輸送，低剪切設計適合敏感液體，無潤滑油，有助於維持流體潔淨。
電子光電業
用於電子化學品、太陽能電池與平面顯示器製造、硬碟製造，以及印表機墨水輸送等製程。
廢水處理業
具耐腐蝕、低維護特性，適合輸送含腐蝕性成分的液體，降低維護與停機成本。
機組設備
體積小、噪音低，可整合於液冷與散熱循環等設備機組，免維護、長壽命。
小型實驗室與研究機構
支援多種泵頭替換，適用於大學與研究所等科研單位對超潔淨、流量精準、零污染有要求的連續工藝研究。
| PTC-ML 系列產品規格 | |||||
|---|---|---|---|---|---|
| 產品 | 型號 | 功率 | 最高轉速 | 最大流量 | 最大揚程 |
| PTCXPUMP | PTC-ML-i30-ST | 35W | 15,000 RPM | 7.4 L/min | 1.5 bar |
| PTC-ML-i30-HP | 35W | 19,000 RPM | 3.8 L/min | 2.8 bar | |
| PTC-ML-i30-HF | 35W | 14,000 RPM | 14.7 L/min | 1.1 bar | |
| PTC-ML-200 | 200W | 10,000 RPM | 21 L/min | 2.6 bar | |
| PTC-ML-600 | 600W | 9,000 RPM | 75 L/min | 3.2 bar | |
| PTC-ML-2000-HF | 2,000W | 8,000 RPM | 140 L/min | 4.2 bar | |
| PTC-ML-2000-HP | 2,000W | 11,000 RPM | 120 L/min | 6.5 bar | |
| PTC-ML-4000 | 4,000W | 8,000 RPM | 280 L/min | 6.3 bar | |
面向「泛半導體」與「高潔淨領域」推薦採用 PTC 磁懸浮無軸封泵浦
在半導體先進濕式製程中,所有化學流體都必須具備高潔淨度、無雜質,且流量控制精準。PTC 磁浮泵浦以零接觸、低微粒、流量平穩的特性,是維持製程穩定與良率的關鍵設備之一。
半導體相關製程應用
- 清洗製程：濕式清洗使用的化學液須高潔淨、無雜質。磁浮泵浦零接觸、微粒生成極少，可穩定供液。
- 蝕刻製程：蝕刻液多具腐蝕性。耐腐蝕材質搭配無脈衝的平穩流量，有助於維持製程穩定。
- 研磨製程（CMP）：研磨液屬懸浮液。磁浮泵浦低剪切、流量平穩，適用於輸送懸浮液。
- 電鍍製程：電鍍製程對液體潔淨度與流量穩定度要求高。無軸封設計排除動密封洩漏風險，流量平穩。
- 先進封裝（含覆晶）：先進封裝製程使用多種高純度化學液。磁浮泵浦低微粒、出口壓力波動小，有助於穩定供液。
半導體產業（濕製程與先進封裝）
矽晶圓對雜質極度敏感。PTCXPUMP磁浮泵浦採一體化磁浮馬達，零接觸、無摩擦，降低機械磨耗產生的微粒污染風險。不論是 CMP 化學機械拋光、濕式清洗、蝕刻或先進封裝，都能提供流量平穩、出口壓力波動小的輸送，有助於維持製程穩定與良率。
新能源與平板顯示產業
太陽能電池與平面顯示器製造，需頻繁處理強酸強鹼等高腐蝕性液體。PTC 磁浮泵浦採耐腐蝕材質，無軸封設計排除動密封洩漏風險，可在連續製程中穩定運作。
電子及精密化學產業
高純度與高密封性是電子化學品輸送的核心要求。磁浮泵浦無需潤滑油、免除機械軸承，可實現全密封的流體傳輸，並適用於硬碟製造、印表機墨水輸送，以及超高純液體、混合液體的生產。
醫藥生技產業
製藥與生物醫藥生產需要潔淨、低剪切的流體輸送。磁浮泵浦低剪切設計適合敏感液體，且無軸承、無旋轉密封件，有助於降低污染風險。
液冷與高階散熱系統
磁浮泵浦體積小、噪音低，無軸封設計搭配核心控制技術，可在高負載下穩定循環冷卻介質。免維護、長壽命的特性有助於降低數據中心或高階電力系統的運維成本。
高階實驗室與研究機構
支援多種泵頭替換，可適應不同性質的輸送介質。結合高精度位移感測與電子調速，可取得精準的流量與壓力控制，適合大學與研究所對超潔淨、流量精準的連續工藝研究。
Q1：什麼是磁浮無軸封泵浦？
A1：磁浮無軸封泵浦是將磁懸浮技術應用於離心泵的新型產品，核心採用磁懸浮無軸承電機，實現轉子與定子的完全隔離。由於無需傳動軸、機械軸承與潤滑油，具備超潔淨、無污染、耐腐蝕及高精度流量控制等特性。
Q2：PTCXPUMP ML 系列有哪些型號與流量範圍？
A2：PTCXPUMP ML 系列包含 i30（ST／HP／HF）、200、600、2000（HF／HP）與 4000 等型號，功率 35W 至 4,000W，最大流量 3.8 至 280 L/min，最大揚程 1.1 至 6.5 bar，可依製程需求選用。
Q3：磁浮泵浦適合用在哪些製程？
A3：適用於半導體濕製程（清洗、蝕刻、研磨、電鍍）與先進封裝，也可用於太陽能電池、平面顯示器製造、製藥與生物醫藥生產，以及超高純液體的生產與輸送。
Q4：為什麼半導體濕製程適合使用磁浮泵浦？
A4：濕式製程的化學流體必須高潔淨、無雜質且流量控制精準。磁浮泵浦的葉輪與泵殼之間無機械接觸、無磨損，微粒生成極少，並降低金屬離子污染風險；同時流量平滑、出口壓力波動小，且低剪切，適合敏感液體與純液體的輸送。
Q5：HF、HP、ST 版本有什麼差別？
A5：以PTCXPUMP-ML-2000 為例，HF 版本流量較大（140 L/min、4.2 bar），HP 版本揚程較高（120 L/min、6.5 bar）。PTC-ML-i30 系列的 ST 版本（7.4 L/min、1.5 bar）則介於 HP（3.8 L/min、2.8 bar）與 HF（14.7 L/min、1.1 bar）之間。
Q6：磁浮泵浦可以輸送懸浮液嗎？
A6：部分可行。PTC 磁浮泵浦適用於輸送懸浮液，且低剪切設計適合敏感液體。實際可輸送的顆粒大小與濃度，請洽弓海企業業務人員確認。
Q7：磁浮泵浦的主要材質是什麼？
A7：泵殼與葉輪等主要接液部件採用 PTFE、PFA 等耐腐蝕氟塑料,O形圈為全氟橡膠(FFKM),金屬零件外覆 ETFE,馬達外殼為鋁合金外覆 ETFE。實際藥液的適用性,請提供化學品名稱、濃度與溫度,由弓海企業業務人員協助確認。
Q8：磁浮泵浦的維護需求高嗎？
A8：不高。磁浮泵浦無軸承、旋轉密封件與閥門，使用壽命長、維護成本低，有助於提升設備稼動率，全系列並提供專業售後維修與技術支援服務。
